上海衡鹏企业发展有限公司为您提供日本冈本gnx200bp晶圆研磨是一款全自动的连续向下进给研磨机。日本冈本gnx200bp晶圆研磨是一款全自动的连续向下进给研磨机
——又称晶圆减薄/晶圆抛光机wafer grinding
okamoto冈本gnx200bp晶圆研磨机概要:
gnx200bp晶圆研磨机是一款全自动的连续向下进给研磨机。晶圆由机械手通过机器进行处理,并装载/卸载臂。在终研磨站之后,使用两个不同的站进行晶片清洁。卡盘转速,砂轮转速和砂轮主轴下降速度可以用来控制砂轮的产量,表面光洁度和砂轮寿命。两点制程量规测量系统控制磨削主轴1和2下的晶片厚度。三点磨削主轴角度调节机构用于轻松保持晶片轮廓ttv;可选配电动调节装置。在研磨站完成后,晶片将自动转移到抛光单元。局部抛光单元消除了表面下的损坏,从而提高了晶片的芯片强度,并具有处理50微米终厚度的能力。
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okamoto冈本gdm300晶圆研磨/晶圆减薄/晶圆抛光/晶圆背抛/wafer grinding
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