光学3D表面轮廓检测仪

深圳市中图仪器股份有限公司为您提供光学3d表面轮廓检测仪。supervieww1光学3d表面轮廓检测仪重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。采用光学干涉技术、精密z向扫描模块和3d重建算法组成测量系统，测量精度高；隔振系统能够有效隔离频率2hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

测量分析软件
1测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
4几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
5一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
6可测依据iso/asme/eur/gbt等标准的多达300余种2d、3d参数。
测量结果组成：
1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和mems表征。

supervieww1光学3d表面轮廓检测仪采用了ccd取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3d图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得清晰，图像，观察方便。

supervieww1光学3d表面轮廓检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据iso/asme/eur/gbt四大标准共计300余种2d、3d参数作为评价标准。

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