济南创谱仪器有限公司为您提供手动探针台测试晶圆忆阻器失效分析iv测试光电流测试mapping架探针座。产品信息:
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆wafer得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了不需要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台chuck,真空吸附系统;
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到较好得使用效果。
技术参数:
◆模块化设计,可以搭建不同构件完成不同测试
◆探针台位移分辨率3μm,样品xyzr四维调节
◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜,可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度:10pa/100fa屏蔽箱内
◆探针采用交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
◆1微米以上电极/pad使用
◆加宽探针架,可以放置6个dc探针座/4个rf探针座
◆全系列搭配显微镜xy精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
◆多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等
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