等离子设备_具备气密性

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等离子设备_桌面型多功能等离子处理系统概要：
是针对研发、试产需求设计的桌面型多功能等离子处理系统。其紧凑设计可在真空腔室内产生密集、均匀的等离子体，适用于等离子表面处理、表面刻蚀以及其它多种工艺应用。
桌面型多功能等离子设备特点：
·设计紧凑的桌面型等离子工艺平台，易于与厂务端连接
·支持多种电极形式与多4路工艺气体，适用于处理各种产品并适应多种工艺要求
·直观的图形控制界面，通过触屏可实时观察、控制工艺过程
·13.56mhz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性和可重复性
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