RHEED-1000采用紧凑型设计适合安装在小腔室中

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rheed-1000_rheed unit特点简介:
可很容易更改为差分泵送类型,以支持真空
采用30kv紧凑型设计,可适合安装在小腔室中。安装法兰采用φ34 icf
无需使用远程控制器,即可从pc进行控制
30 kv紧凑型高压电源
通过单差分泵送1pa
电子束平行扫描在同等条件下的多重衍射监视仪可选
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