爪型真空泵真空系统检漏法之真空计检漏法

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爪型真空泵-真空系统检漏中应用真空计检漏法要考虑示漏气体种类与真空计的特性的配合,选择示漏气体对应的特性差异要明显有别于原有气体成分,如热传导真空计的热传导能力、电离真空计的电离电位。其次为便于准确地观察前后数据变化,要---被检前被检系统压力处于稳定的平衡状态,测量的真空计规管也要处于稳定的状态,防止---数据误导。同时真空计规管存在惰性,需要观察足够的时间。
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