RTP-小型快速退火炉 石墨坩埚炉

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产品应用：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验

产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,---升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。


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