STK-7050半自动晶圆切割膜贴膜机 衡鹏

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stk-7050半自动晶圆切割膜贴膜机特点:
自动滚轴贴膜技术;
手动放置和取出晶圆/承载环;
自动胶膜进给和贴膜;
自动收隔离纸,适用于uv膜和非uv膜;
自动圆形切刀切割膜;
自动撕膜,收废膜 (选项);
晶圆台盘温度可编程控制,max可达120℃;
标准 12”晶圆台盘用于 12”晶圆,可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘;
plc 控制,带 7”触摸屏;
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;
stk-7050半自动晶圆切割膜贴膜机规格参数:
贴膜原理:自动滚轴贴膜技术;
晶圆直径:12”;
晶圆厚度:100~750 微米;
晶圆种类:正常的 v 型缺口晶圆;
膜种类:蓝膜、uv 膜;
320 毫米 uv/非 uv 膜;
长度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
晶圆承载环:12”disco 或者 k&s 标准;
贴膜定位精度:±1mm;
装卸方式:手动晶圆/承载环放置与取出;
防静电控制:去离子风扇;
台盘温度:室温~ 120℃,可编程控制;
切割系统:环型切刀用于 12”disco 承载环;
控制单元:基于 plc 控制,带 7”触摸屏;
安全防护:配置光帘保护和紧急停机按钮;
电源电压:单相交流电 220v,16a;
压缩空气: 60 psi 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺;
机器结构:全铝型材制造;
机器外壳:白色喷塑金属外壳;
体积:800 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1980 毫米(高);
净重:350 公斤;
半自动晶圆切割膜贴膜机性能:
晶圆收益:***99.9%;
贴膜:没有气泡不包括灰尘颗粒气泡;
每小时产能:***80 片晶圆;
mtbf:>500 小时;
mttr:<1 小时;
停机时间:<3%;
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