手动探针台手动测试晶圆探针台失效分析IV测试光电测试探针架探针座

济南创谱仪器有限公司为您提供手动探针台手动测试晶圆探针台失效分析iv测试光电测试探针架探针座。产品信息：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆wafer得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了不需要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台chuck，真空吸附系统；
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到较好得使用效果
技术参数：
◆样品台xyzr四维调节，xy行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定，z轴行程10mm，xyz整体分辨率3μm，360°旋转粗调可锁紧
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性
◆漏电流精度：10pa/100fa屏蔽箱内
◆探针采用交叉滚珠导轨/精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计
◆1微米以上电极/pad使用
◆u型探针架，可以放置多个探针座
◆多被用于晶圆测试、led测试、功率器件测试、mems测试、pcb测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；广泛用于科研院校以及公司！
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