净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。
净化车间的布局,需循序生产流程。车间内设备的摆放于空间的布局也是如此,按照生产的流程来走,减少不---的接触,也能使车间内的洁净度更高。净化车间内的地面、墙面的设计要注意。地面采用防滑、耐磨易清洁的材料制作,无尘车间净化工程,墙面亦是如此,方便后期的清理与维护工作。包括门窗和屋顶,也是要注意,材料的选用。
还有净化车间的供水、排水设施,采用不锈、---一些的管材,净化车间内部供水管道的走向也要一致才好。管道的日常维护与检查工作,也是不能缺少的哦!时刻避免净化车间内可能产生的污染。
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