无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列基本原则:不携入,在无尘室内不携入微粒子的方法有:1作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理; 2进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。 4机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。5无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
净化室工程共包含下列功用室:主实验室:该实验室为主体实验室,无尘净化室,规划的净化等级为三十万级—十万级。更衣室:该实验室用于放置更衣柜,进主实验室之前的替换衣服和鞋运用。缓冲室:该实验室为icp仪器室的一个缓冲室,用作隔离实验室外部的尘土充满到仪器室内。风淋室:思考更高净化等级的请求,关于本实验室的实际请求,能够不选用。
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