真空镀膜机日常维护保养
3、扩散泵连续使用6个月以上，镀膜设备，抽速明显变慢，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，刀具镀膜设备，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，真空镀膜设备批发，要注意检漏工作。
方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时---处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。
汽车产品
1、密封件
2、o型圈
3、垫片
4、燃料电池
5、电子产品
6、传感器
7、轮胎压力监控
8、发光二极管
作用：抗高温、抗碳氢化合物、抗腐蚀性气体和湿度
自动化控制和---环境下使用的传感器、换能器、用很薄的parylene涂层防护可以提高环境适应性和---性。
橡胶/硅树脂
1、密封件、o型圈、垫片
2、弹性体元件
3、塞子和柱塞
作用：干式润滑，隔离，不互相沾黏、不沾纤维和污垢，无印记，无表面损伤。parylene能够保护产品免受油、污垢、溶剂、酸液的影响。
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