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因此应当及时引用新材料、新技术来满足工件台发展的需要,,研究光刻技术的同时，也积极开展对工件台的研究，不断研制出---、高速度、大行程的工件台来满足光刻技术发展的需要,在过去的几十年里，应用于光刻技术中的thk直线导轨在材料、测量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的进步，使工件台朝---、高速度、大行程的方向发展,现列举如下:,材料,工件台中所用的材料直接影响着工件台的性能，应尽量采用低密度、高刚度的材料，这样可以减轻系统的重量，提高整个系统的刚度，从而提高工件台的动态性能,为此，通常采用铝合金、碳化硅等密度小、杨氏模量大的材料；为了减少温度、振动等外界环境对工件台精度的影响，对工件台所在的环境要采取严格的温度控制和隔振措施；
在工件台的测量系统中常用殷钢作为基座，采用零膨胀玻璃作为基准反射镜材料,近年来研究人员利用zerodur(微晶玻璃材料的一种)的低膨胀系数和---的加工性能，加工制作工件台中的测量部件和其他重要零件,表1-1列举了工件台中常用的几种材料的特性,,测量技术,在thk直线导轨中所采用的大行程测量手段主要有光栅测量和激光干涉仪测量,,光栅测量是通过记录静光栅尺和动光栅尺相互移动产生的莫尔干涉条纹数来测量位移的,目前光栅测量的分辨率可达到纳米量级，测量精度为t015m，测量范围为100mrno激光干涉仪以激光在真空中的波长为长度基准，测量精度高，范围大，可实现非接触测量，测量的大速度比光栅测量的速度大
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我公司代理的thk直线导轨除开品质扎实之外，它也归属于很细致的零件的一种，即是高功能的thk直线导轨，假定在应用全过程中应用不善，不仅达不上预估的功能功效，而且非常容易使thk直线导轨毁坏，在润化层面人们早已留意。应用设备时要的确仔细不同意超冲压模具，不可应用垂立即敲打thk直线导轨，不可历经弹出体传送工作压力。应用适合、的设备物品尽可能应用---型物品，竭力防止应用布类和涤纶短纤维这类的物品。尽可能坚持不懈thk直线导轨以及周边自然环境的清理就算人眼看不到的笑靥浮尘进到thk直线导轨，也会加上thk直线导轨的损坏，震荡和噪音。防止thk直线导轨的生锈立即用手取放thk直线导轨时，要充足洗掉手里的液，并涂以---矿物质机油后再开展实际操作，在干季和夏天---是在要留意防锈处理。
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