山东氮化炉电话

湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所，制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

离子渗氮可以使渗氮的周期缩短60%~70%，简化工序，零件变形小，产品-，节约能源，无污染，是近年发展较快的热处埋工艺。这种新工艺在不断扩大着适用材料品种和应用领域，成功地处理了球铁、合金铸铁、马氏体钢、奥氏体钢和弥散强化不锈钢。

磁控靶的阴极接靶电源负极，阳极接靶电源正极，进入正常溅射时，一定是在气体放电伏-安特性曲线中的“异常辉光放电区段”?运行。其特点是，随着调节电源输出的磁控靶工作电压的增加，溅射电流也应同步缓慢上升

将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56mhz)辉光放电离子体中形成非对称放电，面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压，并能产生溅射。他们还认为，得到-压下均匀放电的关键是在较低电场下缓慢发展大量的电子雪崩。?电容耦合型射频(rf)放电电极自给偏压的形成，可以防止绝缘层表面正电荷的积累，有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值，1高时可达千伏量级。

从上个世纪末，国内许多单位如科罗纳实验室、清华大学、大连理工大学、华北电力大学、西安交通大学、华中科技大学、中科院物理所、---等先后开始了对apgd的研究。射频磁控溅射气体放电时，由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形，致使电子碰撞工作气体的几率大为增多，工作气体离化率高，等离子阻抗低，射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的-。由于apgd在织物、镀膜、、薄膜材料等技术里域有着-的工业化应用前景，在-压下和空气中实现辉光放电产生低温等离子体一直是-学者探寻的---和-。