安徽电容测微仪-

由于超精密加工的精度等级和表面都-，因此，一定要有相应的检测手段，才能验证工件是否达到了相应的技术要求。误差补偿是在误差分离的基础上，利用误差补偿装置对误差值进行静态和动态补偿，以消除误差本身的影响。在精密超精密加工和测量中，对测量技术提出了更为严格的要求，即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前，超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高-性的方向发展。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件；美国hp、zygo、英国taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。

1981年美国ibm公司研制成功的扫描隧道显微镜(stm)，将人们带到了微观。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化，具有非常高的精度，应用前景广泛。stm具有-的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出单个原子)，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时，基于stm相似原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出来性质的扫描探针显微镜(spm)，用来获取通过stm无法获取的有关表面结构和性质的各种信息。