纳米镀膜技术-的选择,拉奇纳米镀膜设备

由于派瑞林parylene涂层具有如下性能，广泛适用于产品中

?  parylene涂层符合iso-10993生物实验要求

?  parylene涂层符合fda g95-1

?  parylene符合(rohs)2002/95/ec

?  生物兼容性和生物稳定性

派瑞林parylene涂层采用的真空气相沉积工艺制备，其制备过程如下：首先，在真空条件下固态派瑞林原料在130℃升华气化，然后在680℃高温下，将气态双份子裂解成活性单体；*在真空常温下，气态单体在基体上生长聚合，在基材表面“生长”出完全敷形的派瑞林聚合物薄膜涂层，该涂层具有其他涂层难以比拟的-势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。

什么是派瑞林?

它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的-，应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美-准：mil-i-46058c

微纳米加工技术：化学气相沉积工艺cvd

将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子，在真空1.0*10-2torr作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体，活性单体与单体之间重新聚合，形成一层致密无的纳米膜层。

parylenec 在芳烃上一个氢被氯原子取代，具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率，沉积生长速率也比n型快得多，是目前应用广、防护效果好的粉材。parylened 在芳烃上二个氢被二个氯原子取代，具有阻燃性。在更高温度下具有相对-的物理及电性能，同时与n、和c型相比，具有-的热稳定性。

paryleneht是---环上的4个氢原子被氟取代，与c,n,d比较，其薄膜的介电强度高、介电常数低(即透波性能好)，热稳定性好。薄膜本身连续、致密、无,短期耐温可达450摄氏度，长期耐温可达350摄氏度,并具有强的抗紫外线能力，更适合作为高频微波器件的防护材料。

parylene粉材的生产规模、产品、技术能力都居于国内水平，着派瑞林粉材行业的发展，是国内---的生产基地。经过近多年的研发、生产与不断改进，成功生产出高纯的parylene n粉、不同规格要求的parylene c粉、parylene d粉、parylene f粉，并parylene 系列新品开发上形成了一整套完善的理论模式和实践经验，产品与国际完全相同，价格却远低于国际同等水平，为国内parylene涂敷企业降低成本、增加市场竞争力起到了有效的推动作用。