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真空腔体产品特点

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商，我们为您带来以下信息。

1.真空环境使用，高低温真空环境使用；采用不锈钢，铝，陶瓷等出气率低的材料制作；

2.标准化设计，可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体；

3.---气检漏，保压老化，达到客户的要求。

应用范围：军类单位，大专院校，科研院所，航空航天，生物制药，微电子，新能源，新材料等等。

真空腔体——真空度的分类

真空腔体可以按照真空度进行分类，包括粗或低真空度(< 760, >; 1 torr)，中真空度(< 1, >;10-3 torr)，高真空度(< 10-3, >;10-8 torr)，真空度(< 10-8 torr)，以及非真空的高压力 (>; 760 torr)。真空腔的宽度和外径等常规尺寸是非常重要的参数。标准钟形罩或柱形腔体的可选直径是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。

真空腔体或者真空组件的可选项包括法兰、装配形式、表面抛光或电抛光、开口或传导口，加热器和冷却方式等。

真空腔体的焊接原则

真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。

真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现真空，要对腔体进行150——250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。

真空腔体中抽气管道的设计原则

为一个工艺选择真空泵时，工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大，需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。

看起来似乎很简单，但是这里有许多因素需要考虑。实际上，如果我们从物理学角度考虑，就可以明确哪些是关键因素。真空腔体

在稳定状态的条件下，如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝)，抽气管道任何截面的流量必须相同。简单而言，进入工艺室的气体必须从泵出来。

已知气体摩尔流量为m(公斤/摩尔)、抽气速率为s(立方米/秒)、压力为p(帕)、温度为t(开尔文)，则流量计算如下：

流量(公斤/秒)=(m*p*s)/(ro*t)

ro=通用气体常数

对于大多数抽气系统而言，气体温度(t)在抽气管道中不会-减少，而且可以合理地假定为恒定的。

在此情况下，抽气管道任何截面(p*s)的乘积(称为通量)相同。真空腔体

由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力，可见压力(p)必须在工艺室中为高值，在泵入口为低值。

由于我们假定通量恒定，可见抽气速率(s)在工艺室为小值，在泵入口为大值(等于泵速)。