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我国对变压吸附制氧技术的开发起步较早，从1966年开始研究沸石分子筛分离空气制氧技术；20世纪70年代psa分离空气制氧在钢铁、冶炼和玻璃窑等工业领域已经得到了广泛的应用。vpsa与深冷空气制氧比较现代工艺流程一直改进，vpsa制氧装置是进20多年中发展起来并被市场所接受的技术，vpsa制氧技术开发的时间将更短。20多年来，由于技术力量分散，相互之间缺少联络，我国的变压吸附制氧技术发展缓慢，同国外的差距越来越大。20世纪70年代是我国psa分离空气制氧技术发展的鼎盛时期，全国有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，建立了数套工业试验设备。

制氧机的分类很多，按产品的状态分为产气氧、产液氧、既产气氧又产液氧的制氧机;按产种类类分有单髙产品、双高产品(氧和氮)带制氧机(氧、氮和〕及全提取(氧、氮、及其他稀有气体，制氧机的操作压力是由低温循环系统压力而决议的。制氧机的分类1、电子制氧机在较常见,采用的是空气中的氧气在溶液中氧化及还原析出的工艺,因而不会像电解水制氧那样产生危险的氢气。高压流程的液化循环是以节流为根底的低温循环;中压流程的液化循环是以克劳特循环为根底的，而低压流程的液化循环的根底是卡皮查循环。

　　制氧机按换热器类型分，可分为板式、管式、管板式制氧机。我国目前消费的小型制氧机仍以中压流程为主。中、大型有蓄冷器或板式切换式換热器流程还有较-的分子筛纯化器及增压透平收缩机流程。