马鞍山铝合金抛光垫厂商服务介绍「在线咨询」

抛光布材质分类：

　　真丝丝绒：长绒毛真丝料，钢铁,高精密材料或铝、铜、镁等软材料抛光或精抛光;

　　植 绒：.短绒毛绵料，坚固---，常用于钢铁材料，电子行业电路板，软金属的抛光 ;

　　帆 布：无绒毛绵料，使用于钢铁材料的粗抛光;

　　丝 绸：没有绒毛，使用于含有石墨或夹杂物等组织的抛光;

　合成高分子材料(无绒毛)，多空性：.和金刚石、氧化铝、二氧化硅悬浮液配套使用，适用于多种材料(尤其是极软材料如钛、铜、银等)的后精抛光(尤其是机械/化学同时进行的抛光);

 抛光垫是化学机械抛光(cmp)系统的重要组成部分。它具有贮存抛光液,并把它均匀运送到工件的整个加区域等作用。

     抛光垫的性能主要由抛光垫的材料种类、材料性能、表面结构与状态以及修整参数等决定。抛光垫的剪切模量或增大抛光垫的可压缩性,cmp过程材料去除率增大;采用表面合理开槽的抛光垫,可提高材料去除率,降低晶片表面的不均匀性;抛光垫粗糙的表面有利于提高材料去除率。对抛光垫进行适当的修整可以增加抛光垫表面粗糙度、使材料去除率趋于一致。与离线修整相比较,在线修整时修整效果比较好。

采用表面开槽的抛光垫抛光时有以下特点：

1.材料去除率比采用不开槽抛光垫时提高，有效的缩短了抛光时间。

2.工件表面的不均匀性降低，使工件平坦化。

3.抛光垫表面适当开槽后，储存、运送抛光液的能力---增强，磨料分布更均匀、工件表面剪切应力高，因此抛光效率和都得到提高。

抛光垫其表面上面的沟槽本身具有着相似于均匀的分布磨粒的作用，它通过其增加去除应力---工件的移除率。