数字气体流量计规格咨询「多图」
流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要-注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的mfc; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要-mfc的工作压差不会超过规定的范围。针对气体流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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1、 稳定的流量供给,不受温度、压力变化
2、 宽量程比,可达100:1
3、 -0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体,触屏式直接操作切换,无需重新校准
6、 标配三种显示方式:数字、模拟和本地面板
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地定量控制流量
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10mpa; 可以适用于多种气体介质包括一些腐蚀性气体,如hcl;温度传感元件用于检测气体温度,加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
流量计 / 流量控制器的优点
流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于流量计 / 流量控制器,则一般可以忽略不计。
准确地定量控制流量
流量控制器可以准确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等-有用。
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