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真空镀膜机使用及保养注意事项

真空镀膜机使用及保养注意事项 真空镀膜机设备在运输中可能会出现这样那样的问题，所以在使用之前，一定要严格进行检查，以-人身安全，那么在使用真空镀膜机使用前具体是需要做好哪些检查工作呢？ 1.主机齿轮箱、牵引减速箱应该时常加油，更换齿轮油。 2.新机请在使用10天左右更换新齿轮油，以-各转动部位正常运转。 3.注意加油，防止卡住和过热损坏。 4.还应检查各连接部位的固紧情况，防止罗栓松动。 5.泡管中的压缩空气应保持适量。 6.启动主电机时，应先启动电机后慢慢加速；关闭主电机，应先减速后再关机。

真空设备系统的简单介绍

真空设备系统的简单介绍 真空设备系统是由什么组成的呢？今天我们就来为大家简单介绍一下。 (1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。 (2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。 (3)粗抽泵：从-压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。 (4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

真空镀膜机的工作原理

真空镀膜机的工作原理 在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此，当评价某薄膜样品的性能时，需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形，这往往需要进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：首先，不同次生长的样品，仪器的状态不同，以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度；其次，真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得，非常耗时。增加了生产和检测的成本。 因此，提供一种多功能磁控溅射镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中-环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。 多功能磁控溅射镀膜系统主要用途：用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。