六-硫充气柜真空箱测漏设备厂家 科仪-真空有限公司

-质谱检漏用-气的选择

-气是一种无色、无味的隋性气体。如需了解更多-质谱检漏仪的相关信息，欢迎关注北京科仪-真空技术有限公司网站或拨打图片上的电话询。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。

-规定的瓶装-气按纯度高低分别为工业用-、纯-、高纯-三种。

1、工业用-：-含量***99%，露1点≤43℃.

2、纯-分三级：优等品-含量***99.995%；一等品-含量***99.993%；合格品-含量***99.99%。

3、高纯-分为三级：优等品-含量***99.9996%；一等品-含量***99.9993%；合格品-含量***99.999%。

-气在-质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用-，即-含量***99%，露1点≤43℃。

如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪竭诚为您服务！

-质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。这样，-较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到-震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关，因此较难预计准确的更换时间。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将-源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制-源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

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