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真空设备检漏

设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的-检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，

其测量工作原理如下。-质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用-气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。由于保压测试和水浴法只能检出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此长期以来，-检漏技术是制冷、空调行业中的检小漏的手段，吸枪式-检漏技术一般可以检出10-7mbar·l/s左右的泄漏。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让-离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集-离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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-质谱检漏仪实际上可以说是一个检-仪，通过检测-气的含量来确定是否有泄漏。而对-的检测则使用的是质谱仪，是只检测-的-质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择)，在现场需要查找系统漏点时，先排空制冷剂，然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体，用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。