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目前icp光谱仪主要分为多道型、单道扫描型以及全谱直读型，其中多道型和单道扫描型代表的是80年代的技术水平，它们以光电倍增管为检测器，技术上非常成熟，但也较落后，其中多道型已几乎退出历史舞台，单道扫描型以其合适的价格和灵活方便仍占有一定的市场份额。全谱直读型仪器代表了当今icp的新技术水准，它以cid或ccd(scd)半导体器件为检测器；中阶梯光栅结合棱镜(或平面光栅)构成二维、高分辩率、高能量色散系统，能同时获得各元素谱线的信息。此类型仪器经近十年的不断完善和发展，目前已成为icp光谱仪的主流。
检 出 限：亚 ppb- ppb 短期稳定性：rsd ≤ 0.5%1mg/l 长期稳定性：rsd ≤ 1.0%4h，1mg/l
光 源
自激式固态射频发生器，功率连续 1 瓦可调 震荡频率：27.12mhz
输出功率：700w-1600w 功率稳定性：< 0.1%
仪器规格
尺寸：宽 x 深 x 高106cm x 67cm x 75cm 重 量：约 180kg
光学系统
分析谱线范围：165-950nm
分 辨 率： 0.007nm@200nm
光室恒温：38℃ ±0.1℃
ccd 像素：1024x 1024
单像素面积：24μm x 24μm
工作环境
实验室湿度环境：相对湿度 20%~80% 氩气纯度：不小于 99.95%
排 风：不小于 400 立方米 / 小时
电 源：200v~240v ac 单相；50hz~60hz；4kva
1. 光学系统：中阶梯二维分光光学系统，焦距400mm
2. 谱线范围：165nm~900nm，光学分辨率：0.007nm200nm处
3. 光栅规格：中阶梯光栅，52.67刻线/毫米，尺寸：100mm x 50mm
4. 晶体管固态射频发生器，小巧有效
5. 40.68mhz频率提高信噪比，---了检出限
6. 自动匹配调节
7. 全组装式炬管，降低了维护成本
8. 计算机控制可变速10滚轴四道或两道---泵，具有快速清洗功能
9. 实验数据稳定性---：重复性
rsd ≤0.5% (1mg/l) n=10；稳定性：rsd
≤2.0%大于3小时
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