南海五金丝印-显影企业来电垂询「利成感光」
发布者:东莞市清溪利成感光五金厂 时间:2022-6-7
---显影是蚀刻工艺中非常重要的部分,它是图案准确度的决定性因素,今天利成就整理一下蚀刻加工中---显影需要注意哪些问题。蚀刻加工的产品大都为精密零件,因此每一步的工艺设置与检测都需要严格控制,才能---蚀刻完成后的加工。显影工艺流程以及有关问题的解决方法。温度在三十度到四十度之间,浓度大概在百分之一到百分之二的无水碳酸钠溶液作为水溶性干膜的显影液。五金丝印---显影企业
光刻十步法:表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和---—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀,
光刻胶的物理属性:
粘度:测试方法有落球粘度计量器、ostwalk-cannon-fenske方法、转动风向标法、粘度单位是厘泊centipoise,另一种单位称为kinematic粘度,它是centistoke,由 粘度厘泊除以光刻胶密度而得到,默认温度为25度;
折射系数:index of refraction,对于光刻胶其折射率和玻璃接近约为1.45;
储存与控制: 光热敏感度、粘度、清洁度……
显影参数
在显影过程中有一些关键参数是必须被关注的,这些参数包括显影温度、显影时间、显影液量、当量浓度、排风及清洗等。
显影液量。晶圆片上显影液的量会影响到显影的。如显影液不足,可能会导致显影不尽;显影液过量,虽不会造成显影异常,但会造成浪费,因此,对于-生产来说,确定一个合适的显影量也是相当重要的。当量浓度。当量浓度是一个浓度单位,表示一升溶液中溶质的含量。对于显影液来说,当量浓度反映显影中其---作用的oh-离子的浓度。五金丝印---显影企业联系时请说明是在云商网上看到的此信息,谢谢!
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