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无尘车间洁净厂房内各无尘车间洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求,一般有如下规定,1、应根据空气洁净度等级的不同要求,选用不同的气流流型。 2、下列情况之者,其净化空调系统宜分开设置:1、运行班次或使用时间不同。2、生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品有影响。3、对温、湿度控制要求差别大。4、净化空调系统与一般空调系统。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(duv)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
根据美国施行的规范,可将无尘车间分成六级。各自是一级、十级、百级、千级、万级、十万级:一级***百级***万级***千级***十万级***上百1万级。越排前,级别越高,一级是级别1大的。普遍的是百级到十万级。一级的无尘车间主要用于制造集成电路芯片的电子光学工业,对集成电路芯片的---规定为亚μm。十级的无尘车间主要用于网络带宽低于2μm的半导体材料工业。百级是常见的。因而是关键的无尘车间,大家经常不正确地将百级净化室称之为无菌车间,以表明“无菌检测”的或“洁净”的自然环境规定,百级洁净室可用于药业工业的无菌检测制造加工工艺等,这一净化室很多应用于,植如身体物件的制造,手术,包含移植术,集成器的制造,这些对---1性1感1染比较敏感的---的防护医1治,例如像骨1髓移植---手术后的防护医1治。千级的无尘车间主要用于电子光学商品的生产制造,还用于检测,装配线飞机场蛇螺仪,装配线微型轴承等。千级无尘车间用于液压机械或标准气压机器设备的装配线,一些状况下也用于食品工业工业,除此之外,千级无尘车间在医工业中也很常见。十万级无尘车间用于许多的工业单位,例如电子光学商品的制造,用于较小的电子器件制造大中型的电子技术,液压机或标准气压系统软件的制造,食品工业的生产制造,医1药工业也经常应用这一级无尘车间。
无尘车间洁净室区与周围的空间必须维持在一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。1、不同等级的无尘车间洁净室之间的压差不宜小于5pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5pa,洁净区与室外的压差不应小于10pa。2、无尘车间洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定3、送风、回风和排风系统的启闭宜联锁,正压差洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机,关闭时联锁程序应相反,负压差洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反4、非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化空调处理。
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