这一阶段开始前,净化区除设备搬入预留洞口外,建筑的门窗、内粉刷应施工完成。这一阶段可界定为吊顶板安装之前的作业过程工作内容如防尘涂装、空调机组安装、动力设备、一次配管和配线电缆桥架及电气配管配线、壁板及吊顶的龙骨安装等。进入无尘车间的-员,必须接受该阶段管理规定的培训,并佩带相应的胸徽准入证入室;2进入无尘车间应穿干净鞋具,千级无尘室,不得带油渍、污泥入内;3室内不得---、饮食和饮水;4焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制,防止碎屑大范围扩散,十万级无尘室,每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;5施工材料堆放整齐;6室内严禁大小便;7有违犯以上规定者,应立即取消在无尘车间工作的资格。
吊顶应按房间宽度方向起拱,合肥无尘室,使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整。吊顶四周应与墙体交接严密,安装过程中不得撕下板材表面保护膜。禁止撞击和板面。需要粘贴面层的材料,嵌填密封胶的表面和沟槽防落积尘,必须严格清扫,除去杂质和油污,---粘胶密实牢固。围护结构的所有安装缝隙,必须用硅胶密封,嵌填的密封胶应平直、光滑、不应有间断,外边等现象。打胶的环境温度应在摄氏零度以上进行。
净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。每立方米将小于0。3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的级别。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于标级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
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