废气uv光氧催化设备主要是利用高能高臭氧uv紫外线光束作为催化反应条件来进行有机废气处理，而应用于工业有机废气处理中的紫外线波长为154-254nm，波长越短能量越大。在这个波长区域中，vocs有机废气处理设备，由于154-185nm的波长相对较短所以有机废气处理反应的空间范围也较小，而184-254nm尽管能量较小，但波长长有机废气处理的空间范围相对较大。
大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒---转变成---无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在---电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成---、水等小分子无污染成份。
当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性---得活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如h2o和co2等。
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