当电子束撞击样品时，随着电子进一步穿透到样品内部，会发生多种相互作用。在扫描电镜中有三个重要的信号，分别是背散射电子、二次电子、x 射线，如图 1 所示。关于不同的信号来自于哪个-，与高能量信号相比，天津扫描电镜，样品深处产生的低能量信号到达表面的概率-。也就说，较低能量的信号更容易被样品吸收，而较高能量的信号更容易被散射。
二次电子能量相对较低通常 < 50ev，虽然在整个相互作用区中都可产生二次电子，但只有样品表面的二次电子才可以逸出材料表面，从而被检测到，天津扫描电镜厂家，这种特性使得二次电子可以提供-的形貌信息成像。背散射电子来自从样品中散射逸出的入射电子。这种散射过程高度依赖于电子运动路径上所遇到的原子。这意味着，天津扫描电镜价格，可以从背散射电子信号中观察出成分称度差异。背散射电子的能量比二次电子高一个数量级，可以提供样品更深处的成像信息。
场发射扫描电镜fesem是电子显微镜的一种，其原理是利用二次电子或背散射电子成像，天津扫描电镜多少钱一台，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征x射线来对微区的成分进行定性定量分析，是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。
扫描电镜按照电子分类可以分为钨(w)灯丝、六硼化-(lab6)灯丝、场发射 (field emission)三种，场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化-，具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍，扫描式显微镜可放大到10000倍以上。
根据de broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关：
λe=h / mv= h / (2qmv)1/2=12.2 / (v)1/2 (?)
在 10 kv 的加速电压之下，电子的波长仅为0.12?，远低于可见光的4000 - 7000?，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜-许多，但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100?之间，电子与原子核的弹性散射 (elastic scattering) 与非弹性散射 (inelastic scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。
|
登录后台
