真空压力法-质谱检漏
采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与-气源相连，检漏设备，当被检产品表面有漏孔时，-气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求-充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是-高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
1新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。2新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。3仪表的指示能够反映出漏孔的大小， 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中， 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时，明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。当时还论证了新型检漏装置的示踪气体必须满足三个要求1系统的残余气体的质潜中没有它的谱线。即便仪器处于-环境，这种气体在仪器中也几乎不存在。2能够在试验状态下很容易地把它从系统中抽出， 所用的示踪气体不会污染系统。3分子量低、粘度低、购置方便。显然，充气柜真空箱检漏设备，-气是满足这三个要求的理想的气体。
-气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，六-硫空箱检漏设备，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。
规定的瓶装-气按纯度高低分别为工业用-、纯-、高纯-三种。
1、工业用-：-含量***99%，露1点≤43℃.
2、纯-分三级：优等品-含量***99.995%；一等品-含量***99.993%；合格品-含量***99.99%。
3、高纯-分为三级：优等品-含量***99.9996%；一等品-含量***99.9993%；合格品-含量***99.999%。
-气在-质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，六-硫充气柜真空箱检漏设备，纯度要求不高，一般选用工业用-，即-含量***99%，露1点≤43℃。
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