蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华或蒸发而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。有的真空泵不能在-压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于-压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，干式无油螺杆真空泵，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。为了使用方便和真空工艺过程的需要，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区-压的稀簿气体状态。
为了使用方便和真空工艺过程的需要，将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空系统指低于该地区-压的稀簿气体状态。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环式真空泵得到广泛的应用。众所周知，由于水环真空泵和水环压缩机具有结构简单、使用维修方便的特点，因而在各行各业得到了广泛的应用。
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