-气检漏仪是-质谱检漏仪((helium mass spectrometer leak detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其中心部件质谱室，使不同的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收1器接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
专门设计的以-气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为-质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、-、安全、反应速度快等优点。-质谱检漏仪中用得较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
众所周知，当一个带电质点正离子以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比m/e的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的-离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有-离子才能通过狭缝而被接收极接收形成-离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用-气喷吹漏孔，-气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
-质谱检漏仪原理的-质谱检漏仪特点：
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.不会受到主观因素判断的影响；
4.检测的数据；
5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。
-质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：
1便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
2高压强下检漏：检漏口压强可-数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
3自动化程度高：自动校准-峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
4全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
5检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测-气，而且能检测其它气体。
-质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。-质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
(1) 漏率校准 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的-质谱检漏仪组成。
示值误差
通电预热，待-质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对-质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入-质谱检漏仪系统，运行-质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算-质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与-质谱检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入-质谱检漏仪系统进行测试，得到-质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。
如果测试结果有较大编差，可以考虑-质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。
重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用-质谱检漏仪重复测量三次，可用公式(2)计算-质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
今天和大家分享的是-质谱检漏仪的校准方法，如您想了解更多的产品信息，您可拨打图片上的电话进行咨询！
|
登录后台
