振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:-回收硅片,光伏电池板,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,el,-测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,-偿还,返工,光伏模块回收等。
影响因素
1 .频率
射频 pecvd 系统大都采用 50khz~13.56 mhz 的工业频段射频电源。较高频率 >;4mhz 沉积的氮化硅薄膜具有-的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 rf 功率通常会- sin 膜的。但是,功率密度不宜过大,超过 1w/cm2 时器件会造成-的射频损伤。
3 .衬底温度
pecvd 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能-氮化硅薄膜在hf 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有-的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 sih4 。为了防止富硅膜,选择nh3/sih4=2~20 体积比。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以-沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
sih4 的百分比浓度及 sih4/nh3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及物化性质均有重大影响。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 sin 。因此,必须控制气体中的 sih4 浓度,不宜过高,并采用较高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。
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电池片流程
1、 车间段位构成
whq :硅片为太阳能电池片的载体,硅片的决定了电池片的转换效率。而该工序则是对硅片的来料检测,主要是包括厚度, ttv ,电阻率,外观 破片,缺角,孔洞,脏污
需注意 :
1) 切割方向会厚薄不均,放片时需 180 度错落放置以-放入载体厚薄均匀,切割方向需要垂直与印刷 细 栅方向,预防水波纹出现。
2) 线痕: 单线痕
密集线痕
3 原硅片因切割后因有清洗所以会有粘度导致原硅片粘连,放置时需轻微摇晃。
制绒: 目的:去除表面损伤层,对表面进行凹凸处理 ,清楚表面硅酸钠,氧化物,油污以及金属。以提高光电转换率。
需注意 :
减重 ,活性不均匀会影响到后面 pevcd 工序使硅片出现问题制绒过程中, 制绒面朝下,装入载体,载体单孔面为制绒面。在制品时间为两小时,两小时内要及时送入下一工序。
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丝网印刷
基本原理
基本原理:利用网版图文部分网孔透墨,非图文部分网孔不透墨的基本原理进行印刷。印刷时在网版上加入浆料,刮胶对网版施加一定压力,同时朝网版另一端移动。浆料在移动中从网孔中挤压到承印物上,由于粘性作用而固着在一定范围之内。由于网版与承印物之间保持一定的间隙,网版通过自身的张力产生对刮胶的回弹力,使网版与承印物只呈移动式线接触,而其它部分与承印物为脱离状态,浆料与丝网发生断裂运动,-了印刷尺寸精度。刮胶刮过整个版面后抬起,同时网版也抬起,并通过回墨刀将浆料轻刮回初始位置,完成一个印刷行程。
丝网结构
网版,刮胶,浆料,印刷台,承印物
浆料体系
银铝浆:背面导体,作为背电极,提供可焊性。
铝浆:背面导体,作为背面电场,收集电流。
银浆:正面导体,作为正电极,收集电荷。
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