1化学气相沉积cvd反应温度一般在900~1200℃,中温cvd例如mocvd金属有机化合物化学气相沉积,反应温度在500~800℃。若通过气相反应的能量,还可把反应温度降低。
“辅助”cvd的工艺较多,手机镀膜设备多少钱,主要有:
电子辅助cvdeacvd也称为电子束辅助cvd,电子增强cvd,或电子束-cvd,涂层的形成在电子作用下得到改进。
激光辅助cvdlacvd),也称为激光cvd或光子辅助cvd,涂层的形成在激光辐照作用下得到改进。
热丝cvd,也称为热cvd,工具镀膜设备,一根热丝放在被镀物件附近进行沉积。
金属有机化合物cvdmocvd,是在一种有机金属化合物气氛这种气氛在室温时是稳定的,但在高温下分解中进行沉积。
离子镀,是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质离子化,眼镜镀膜设备,在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下,把蒸发物质或其反应物蒸镀在工件上。离子镀把辉光放电、等离子技术与真空蒸镀技术结合在一起,不仅明显地提高了镀层的各种性能,而且,大大扩充了镀膜技术的应用范围。
离子镀除兼有真空溅射的优点外,还具有膜层的附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。例如,利用离子镀技术可以在金属、塑料、陶瓷、玻璃、纸张等非金属材料上,涂覆具有不同性能的单一镀层、合金镀层、化合物镀层及各种复合镀层,而且沉积速度快可达755m/min,镀前清洗工序简单,对环境无污染,镀膜设备,因此,近年来在-得到了迅速的发展。
镀膜设备pcvd技术具有沉积温度低,沉积速率快,绕镀性好,薄膜与基体结合强度好,设备---维护简单等优点,用pcvd法调节工艺参数方便灵活,轻易调整和控制薄膜厚度和成份组成结构,沉积出多层复合膜及多层梯度复合膜等膜,同时,pcvd法还拓展了新的低温沉积领域,例如,用pcvd法可将tin的反应温度由cvd法的1000℃降到200~500℃,用pcvd法制备纳米陶瓷薄膜的特点是:产品的杨氏模量、抗压强度和硬度都-,耐磨性好,化学性能稳定,性和腐蚀性好,有较高的高温强度。
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