离子源的主要参数有：离子束流强。即能够获得的有用离子束的等效电流强度，轰击离子束刻蚀机，用电流单位a或ma表示。有用离子百分比。即有用离子束占总离子束的百分比。一般来说，离子源给出的总离子束包括单电荷离子、多电荷离子、各种分子离子和杂质元素离子等的离子束。能散度。由于离子的热运动和引出地点的不同，使得离子源给出的离子束的能量对要求的单一能量有一定离散，一般希望能散度尽量小，在的离子束应用中尤其是这样。束的-性能。以离子束的截面和张角表示。-不好的离子束在传输过程中会使离子大量丢失。获得--特性的离子束的终障碍是束中离子之间的静电排斥力，为了克服这一障碍，应尽早使离子获得较高能量。离子源的效率。以离子束形式引出的工作物质占总消耗的工作物质的比例。工作寿命。离子源一次安装以后使用的时间。
通入工作气体ya气，气压10-2- 10-torr之间，阴极放1射出的电子向阳极运动，轰击离子束刻蚀机安装，在运动过程中，电子将工作气体分子电离，在样品室内产生辉光放电形成等离子体。其中电子在损失能量后到达阳极形成阳极电流，而ya离子由多孔栅极引出，在速系统作用下，形成一个大面积的、束流密度均匀的离子束。为减少束中空间电荷静电斥力的影响，减少正离子轰击基片时，造成正电荷堆积，离子束离开加速电极后，被中和器发出的电子中和，轰击离子束刻蚀机报价，使正离子束变成中性束，打到基片上，进行刻蚀。
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离子束加工(mm)利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应来进行不同的加工。由于离子束轰击材料是逐层去除原子，所以可以达到纳米级的加工精度。离子束加工按其工艺原理和目的的不同可以分为三种：用于从工件上去除材料的刻蚀加工、用于给工件表面涂覆的镀层加工以及用于表面改性的离子注入加工。由于电子束和离子束易于实现准确的控制，所以可以实现加工过程的全自动化，但是电子束和离子束的-、偏转等方面还有许多技术问题尚待解决
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