真空系统。是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、-过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
真空系统包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由---的plc控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
使用真空的原理是一种依靠气压差产生挟裹污水的高速气 流，并把污水从器具中取走的排水系统，进口负压真空系统，其具备的优势在于：
1.可以简单地解决排水沼坡，使污水可以任意地提升；
2.管道管径小，埋深浅，施工更为方便快捷；
3.没有外溢，不会污染地下水，程度高；
4.整体密闭性强，没有气味，清洁度高；
5.系统安全自检性强。
室内系统的工作原理是当污水达到一定水量时，真空控制阀3会自动开启。真空泵站中的真空泵使管道内 维持着0.6bar的负压，污水将以4m/s的速度通过真空管道9.10 进入真空泵站中的真空罐1。真空排水避免了传统的重力 向下的排水局限性，负压真空系统，所以管道布置具有任意性。在图1中我们 可以看到地下室的洗脸盆5及洗衣机的污水通过管道被提 升再进入真空罐。污水在真空罐内存储到一定水位后，污水泵 会开启，把污水排入市政管道。
室外系统的工作原理是不改变建筑物内原重力排水，使用 真空收集箱作为功能设备，连接其出水口，通过气动传感原理 将内部真空阀门打开，从而使进入的污水处于真空负压状态 。污水及废水就会通过收集箱吸入真空管道，再进入真空泵站 中的真空罐。室外的真空管道可以随意绕过各种障碍物，甚 至在同一沟渠内将污水管同其它管线布在同一平面。一个中心 真空泵站的辐射半径可达3公里而不需要另外的提升泵， 在有水系的地方可以将真空管道直接沿着桥下布管；在野外管 线长，放坡大或是地下室有卫生间，需将集水池深挖的情况 下，真空管道只需埋深地下60cm至1.2m。真空泵站的工作原理和 室内系统相同。
真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度即真空稀薄程度平均分布始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到较好的流程工艺。
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