主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从-压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
真空泵机组使用时候的注意事项：
在蒸馏系统和真空泵机组之间，德州往复式真空泵，必须要注意去装有吸收装置；在进行蒸馏之前必须用水泵-抽去系统当中的有ji溶剂的蒸气；如果可以用水泵抽气，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，w4往复式真空泵，可先用水泵减压抽降，之后再改用油泵才可。
真空泵机组在进行使用的时候，就此腔内容积不断变化也就会直接形成了排气作用，要求润滑油应该是要具有合适的粘度与粘温特性；此真空泵机组上的减压系统一定要注意保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，往复式真空泵厂家价格，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
真空泵机组拆修拆泵时，要注意对于每拆下一个部件，都必须要去检查一下其精度与光洁度以及损坏情况。旋片及转子两头的棱角要-注意检查一下其部件有没有损坏，并作好记录。
对于业务尚不太熟悉的修理真空泵机组者，则更应该逐步的去记住各部件、零件的配位置，接下来要注意作好记录，以防重装的时候记不清搞错。与此同时，拆下的零部件不可以乱放，wlw型往复式真空泵，堆彻，碰伤，丢失。将它们放于一个方磁盘里好，也可放于木盒当中并清洗干净，以绸布盖好。
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