进入21世纪以来,微电铸工艺正逐渐展现着其的---和发展潜力。liga即光刻、电铸和注塑与uv-liga技术是两种非常重要的微细加工技术。在微纳加工领域经常会需要一些具有高深宽比的微结构,而liga和uv-liga技术的工艺特点就是制备具有高深宽比的微结构。liga与uv-liga技术的工艺过程主要区别在于,liga技术的---光源为同步x射线源,uv-liga技术只需紫外光源即可。由于同步x射线源非常昂贵,相比liga技术,uv-liga技术成本很低,适合推广应用。
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