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石墨热场主要由三种材料组成：特种石墨用来做加热器、石墨电极、石墨坩埚、ds块、支撑杆、进气管等零部件。石墨热场是多晶硅铸锭炉的---、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得---。单晶炉用石墨热场系统简介：热系统长期使用在高温下，福建石墨热场，所以要求石墨材质结构致密、坚固、---、变形小、无空洞、无裂纹、金属杂质含量少。石墨热场

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热场一般包括石墨材料压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，石墨热场厂家生产，炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。石墨热场

热场一般包括石墨材料压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。金属屏在遇到铜焊合金溅射的情况下很容易受到损伤，导致屏的表面形成孔洞，热量会从这些孔洞中传递出去。当然，使用厚一些的金属屏---是钼合金的屏会延长金属热场的使用寿命，但是却增加了---的成本。石墨热场

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