正确地组合真空泵；由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速，但不能抽---，而三极型溅射离子泵，或二极型非对称阴极溅射离子泵有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。1蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华或蒸发而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。2溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，---是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。
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