清洁后的清洁表面不能储存在---中,而应储存在封闭的容器或清洁柜中,以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中,可以减少碳氢化合物蒸气的吸附。因为这些容器首先吸附碳氢化合物。表面不稳定的真空电镀通常应储存在真空干燥柜中。
喷涂过程中对环境的基本要求是清除喷涂室内的灰尘,建立干净的车间,保持高室内清洁度。在空气湿度高的地区,除了在真空电镀前仔细清洁真空室内的基板和零件外,还需要烘烤和除气。这是为了防止油被带入真空室应注意扩散油泵的回油,并对高热功率扩散泵采取阻油措施。
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