主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从-压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,w型往复式真空泵淄博,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,往复式真空泵,就是维持泵。
真空泵机组管道漏气的处理,应该用法兰盘连接的进水管安装之前,w4型往复式真空泵,也就是要注意把2个法兰盘相接触的平面进行清理干净,中间也就是会加1个3~5mm厚的胶垫,之后要对称、分几次逐步地将螺栓拧紧。
真空泵机组体上应该是要注意必须是要设有放气螺塞,为了便于放气,这时候也就是要注意必须是要用螺纹尺寸相同的水龙头去代替放气螺塞,放气的时候,也就是要注意打开水龙头也就可以了。
如国产的wlw系列立式往复泵与老式w型卧式往复式真空泵相比,有如下优点:动部位磨损减轻。(1)功率消耗平均减少1/3,节能-。例如,原w5功率为22kw,而wlw-200b为15kw;原w4为11kw,而wlw-100b为7.5kw。(2)占地面积平均减少2/3。如原w5型占地为3.8m,w3型往复式真空泵,而wlw一200b为1.2m。(3)振动降低。wlw系列泵消除了横波劣性振动,噪声平均降低5db以上。(4)使用-。立式泵由于结构合理,受力均匀,使得各运动部位磨损减轻。
|