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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。
为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，东莞爱发科分子泵维修，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。
应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及---质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了---的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。
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在真空的里，也有一对不离不弃的“---情侣”。我们习惯称这对---伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和---真空，并且可以持续的---长时间运行，高真空泵---真空---，只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴，在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献，推动了科学仪器行业的飞速发展。
为什么分子泵和前级泵是天作之合？分子泵需要配置前级泵， 而不是直接在---压下工作. 我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态下工作才能显示出它的---性。分子泵输送气体应满足两个---条件：1涡轮分子泵必须在分子流状态下工作；2分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利；
在纯粹涡轮分子泵的情况下， 由于其分子流，需要的前级真空大约为为 5～10-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话，直接启动分子泵，二手爱发科分子泵维修， 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
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它的特点主要有： 1、泵腔内有可旋转的转子，转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵，后一级的入口与---级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 的间隙，气体分子由入口进入泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级泵抽走。 3、分子真空泵的优点是起动时间短，在分子流态下有---的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，---适于抽除较重的气体。
它的不足：抽速小，密封间隙太小，工作---性较差，爱发科分子泵维修改造升级，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单，爱发科分子泵维修固件升级，抽速大的扩散泵所代替。分子泵报价， 涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。
立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在 lmm 左右，因此泵工作时很安全。接下来主要介绍这两种涡轮分子泵特点： 1、清洁，无油蒸汽返流； 2、使用方便； 3气体输送能力强； 4、适于真空应用； 5、高压力下性能---； 6、循环的时间短；； 7、正常使用时间长； 8、设备费用高；9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露---易引起事故；
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