逆流-质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对-气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的-气，-检漏设备生产厂家，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流-顷质谱检漏仪的工作原理。
-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的-离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和-气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，-气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，充气柜-检漏设备生产厂家，因此被广泛采用，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法，应用中需要注意：
1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。
2、充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度。
3、被检件检测前需要进行充分的清洁，同时要在充好气后再放入液体中，防止堵塞漏孔。
4、区分虚漏与真漏，汽车零部件-检漏设备生产厂家，被检件放入液体中，其表面的吸附气体可能形成气泡，需要与漏孔形成的气泡加以区分，须将这些气泡抹掉后再进行观察。
5、观察时需要-光线充足，液体清澈透明皂膜法时尤其要注意皂液的稀稠度，过稀易流动滴落导致漏检，过稠易堵塞透明度差或形成气泡造成误检，观察背景要暗；同时被检件要稳，距离水面要近，并-水面平静。
真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要-注意安全。
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