---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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---质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。
航空航天---工业
1例如火箭发动机及姿态发动机，过去是---刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏，采用正压吸与---罩法结合，使检漏灵敏度---提高，从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸、---罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
2km6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用---质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力---气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内---浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，六---硫空箱检漏设备，因此有效提高了检漏灵敏度。
3航天工业中，卫1星、各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用---质谱检漏仪及其检漏技术。
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---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
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