北京科创真空-河北-检漏系统生产厂家

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2022-9-3  
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半导体设备及材料需要检漏原因


1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易---,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和---环境。

4、芯片封装,河北---检漏系统生产厂家,一旦出现泄漏,充气柜---检漏系统生产厂家,芯片就会失效。




真空箱式---检漏系统【工作环境】

科创真空——真空箱---检漏供应商,我们为您带来以下信息。

真空箱式---检漏系统【工作环境】

工作环境:

1、长×宽×高设备占地面积约:依据实物实际面积为准。

2、电源:380 v±38 v,冷凝器---检漏系统生产厂家,50 hz±0.5 hz,约22kw;

3、压缩气源及减压器:0.6~0.8mpa氮气或干燥清洁压缩空气;

4、待检工件要求清洁、干燥。

5、环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

6、相对湿度:   ≤80%;

7、---气源及减压器:---气纯度为  99%。

8、设备应安装在通风---的厂房内。



用---气作为---质谱检漏气体的原因

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也

就小,因此微小漏率也就能反应出来,半导体---检漏系统生产厂家,灵敏度高。

2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。



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