半导体xrd测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
xrd测试结晶性
角度θ为布拉格角或称为bai掠射角。关于xrd的测量原理比du较复杂，zhi要知道晶体学和x射线知识。简单dao的来说对粉末多晶：当单色x射线照射到样品时，xrd掠入射gixrd电话，若其中一个晶粒的一组面网hkl取向和入射线夹角为θ，xrd掠入射gixrd费用，满足衍射条件，则在衍射角2θ衍射线与入射x射线的延长线的夹角处产生衍射。
但在实际应用中，我们只需用仪器做出xrd图谱，然后根据pdf卡片来知道所测物质的种类，和结构。pdf卡片是x射线衍射化学分析联合会建立的物质的衍射数据库。他们制备了大量的物质，使用者只要把自己的图谱和标准图谱对比就能知道自己的物质种类及结构。随着计算机技术的发展，现在都是通过导入研究者测试得到的xrd图谱，电脑软件如jade通过匹配度寻找与之比配的pdf卡片，很方便。
在xrd中，不仅可以定性得到物质的种类，相结构。而且可以通过谢乐公式得到晶粒尺寸以及通过精修手段得到晶胞常数。
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对样品粉末粒度的要求
对于衍射仪以及---照相法，实验时试样实际上是不动的。即使使用样品旋转器，由于只能使样品在自身的平面内旋转，并不能很有效的增加样品中晶粒取向的随机性，因此衍射仪对样品粉末颗粒尺寸的要求比粉末照相法的要求高得多，有时甚至那些可以通过360目38μm粉末颗粒都不能符合要求。对于高吸收的或者颗粒基本是个单晶体颗粒的样品，其颗粒大小要求更为严格。
例如，石英粉末的颗粒大小至少小于5μm，新疆维吾尔自治xrd掠入射gixrd，同一样品不同样片强度测量的平均偏差才能达到1％，颗粒大小若在10μm以内，则误差在2～3％左右。但是若样品本身已处于微晶状态，则为了能制得平滑粉末样面，样品粉末能通过300目便足够了。
对于不同吸收性质的粉末，颗粒度可以认为“足够细”的尺寸要求是各不相同的，因为样品受到x射线照射的有效体积和可以忽视样品中微吸收效应的颗粒上限都取决于样品的吸收性质。brindley对此作过详细的分析，xrd掠入射gixrd价格，他在衍射分析中对粉末的颗粒度按μd值进行分级μ为物质的线吸收系数，d为晶体的平均直径。
细 颗 粒： μd < 0.01
中等颗粒：0.01 < μd < 0.1
粗 颗 粒： 0.1 < μd < 1
十 分 粗： μd >; 1
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x射线衍射仪xrd项目简介：
x射线衍射仪 (x-ray diffraction，xrd)是通过对材料进行x射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。x射线衍射分析法是研究物质的物相和晶体结构的主要方法。当某物质(晶体或非晶体)进行衍射分析时，该物质被x射线照射产生不同程度的衍射现象，物质组成、晶型、分子内成键方式、分子的构型、构象等决定该物质产生特有的衍射图谱。x射线衍射方法具有不损伤样品、无污染、快捷、测量精度高、能得到有关晶体完整性的大量信息等优点。因此，x射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法，已逐步在各学科研究和生产中广泛应用。
常规广角: 3-120°，测试速率：10°/min、5°/min、2°/min、2°/min。
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