采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气，当被检产品表面有漏孔时，-气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹-气，可以实现漏孔的准确定位； 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的-气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以准确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个-压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
-质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天科仪的小编就和大家来说一下，-质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助！
校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ，校准过程中室温变化不超过± 1℃ ，环境相对湿度不大于80% 。
校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。
环境温度较好控制在23℃ 附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。
选择示漏气体(示踪气体的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全-；价格低。
质谱检漏仪通常选择-气作示踪气体，主要原因如下：
1、-在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少在空气中约含5.2ppm，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，电力中高压真空箱检漏设备，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、-的小相对分子为4，易于穿过漏孔。这样，-较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、-是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在-两侧的是氢质荷比为2和双电荷原子碳质荷比为6，质荷比都与-相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找-峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的-离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、-在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使-信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能如小、易通过漏孔比-还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底-且波动大，以致灵敏度-降低，所以很少采用。
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