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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除:(1)不可以在前面泵工作中时前面管路接入和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用,不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。
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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时,当分流比过大却没有设置相应的分流比,或者当检漏阀门关闭或堵塞时,就有可能错过泄漏。
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复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。
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