什么是无尘车间，无尘车间指的是在一定的空间范围内，将空气中有害粒子微生物、细节等污染物控制在一定的范围内，使之不会对生产或工作造成负1面影响，并将空间内的温湿度、压力、静电等条件控制也控制在某一范围内的车间内建筑。
在建设无尘车间的时候，首先需要安装的有空气净化系统。其中包括进风系统、排风系统、净化空调、过滤器等。其中的进风和排风系统和回风系统相差不大，都是以空气的流通和过滤来达到控制车间内微尘粒子数量的目的。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和ffu循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积---级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积---级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的ffu循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性---，可以在不影响生产的情况下---进行系统升级和调整，这些都能---地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业ffu循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
无尘车间的温湿度测试的具体要求从下面反映：
无尘车间温度测试有功能度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用；一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。而且1好就是在进行调试，气流均匀性测试时完成。无尘车间功能温度测试，应将无尘车间工作区划分为等面积的栅格，1好每个分格面积不超过100平方米，洁净实验室装修，也可以与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。无尘车间温度测试需要在净化空调系统连续运行24h以上之后再进行。
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